分子式：SiH4  含量：≥99.9999%
CAS NO：7803-62-5 包裝：鋼瓶　tank罐
用途：硅烷已成為半導體微電子工藝中使用的最主要的特種氣體，用于各種微電子薄膜制備， 包括單晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金屬硅化物等。硅烷的微電子應用還在向縱深
發(fā)展：低溫外延、選擇外延、異質(zhì)外延。不僅用于硅器件和硅集成電路，也用于化合物半導體器件(砷化鎵、碳化硅等)。在超晶格量子阱材料制備中也有應用?？梢哉f(shuō)現代幾乎所有的集成電路的生產(chǎn)線(xiàn)都需用到硅烷。硅烷的純度對器件性能和成品率關(guān)系極大，更好的器件需要更高純度的硅烷。