分子式:H2SO4 含量:96- 98%
CAS NO:7664-93-9 包裝:4L/瓶 1000L/桶 tank罐
用途:電子級硫酸是半導體工業(yè)八大化學(xué)試劑之一,主要用于晶片的清洗和刻蝕,其消耗量排行第三,在半導體元件的生產(chǎn)過(guò)程中,晶片的清洗非常重要,幾乎每?jì)傻拦ば蛑g都要進(jìn)行。在90~125℃的溫度范圍,硫酸是一種非常有效的清洗劑,它可以從晶片上除去幾乎所有無(wú)機殘留物和顆粒。在硫酸中加入氧化劑(過(guò)氧化氫,過(guò)硫酸銨,硝酸和臭氧等),可除去碳殘余物。因為熱硫酸與裸露的晶片表面直接接觸,所以它必須盡可能地純凈,特別是當生產(chǎn)半導體元件時(shí)。