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技術(shù)參數

序號	氣體種類(lèi)	英文名	包裝
1	液氮	LIN	杜瓦/槽車(chē)
2	液氧	Lox	杜瓦/槽車(chē)
3	液氬	Lar	杜瓦/槽車(chē)
4	高純氧/氮/氬/氫	High Purity Oxygen/Nitrogen/Hydrogen	40L/50L（氣瓶）
5	高純氬氣	High Purity Argon	40L/50L（氣瓶）
6	超純氦氣	Super pure helium	40L/50L（氣瓶）
7	超純氬氣	Ultra-pure Argon	40L/50L（氣瓶）
8	氧氦混合	0.5%O₂/He	47L
9	四氟化碳	CF₄	40L
10	三氟甲烷	CHF₃	47L
11	六氟化硫	SF₆	47L
12	氦氮混合	1.2%He/N₂	MIXER / 47L
13	氬氙氖混合	3.5%Ar/Xe/Ne	47L
14	氪氖混合	1.25%Kr/Ne	49L
15	甲烷氬混	4%CH₄/Ar	40L
16	氫氦混合	5%H₂/He	47L
17	八氟環(huán)丁烷	C₄F₈	47L
18	二氧化硫	SO₂	10L
19	氟氬氖混合	0.95%F₂/Ar/Ne	47L
20	氟氪氖混合	0.95%F₂/Kr/Ne	47L
21	氯氣	CL₂	44L / 47L
22	氟氮混合	20%F₂/N₂	47L
23	硼烷氬氣混合	5%B₂H₆/Ar	44L
24	溴化氫	HBr	47L
25	丙烯	C₃H₆	47L
26	甲烷氬氣混合	10%CH₄/Ar	40L
27	二氟甲烷	CH₂F₂	17L /10L /46L
28	一氟甲烷	CH₃F	10L / 7L
29	六氟丁二烯	C₄F₆	40L
30	二氯二氫硅	SiH₂CL₂	47L
31	四氟化碳	CH₄	44L
32	一氧化碳	CO	40L / 47L
33	鍺烷氫氣混合	10%GeH₄/H₂	47L
34	乙硼烷氫氣混合	1%B₂H₆/H₂	47L
35	氫氮氣混合	10%H₂/N₂	MIXER
36	磷化氫/氫氣混合氣	PH₃/H₂	47L
37	氯化硼	BCL₃	44L
38	氫氟酸	HF	10L / 7L
39	四氯化硅	SiCL₄	10L
40	硅烷	SiH₄	Y-Cylinder / 47L
41	氯化氫	HCL	Y-Cylinder
42	氨氣	NH₃	44L
43	笑氣	N₂O	Y-Cylinder
44	二氧化碳	CO₂	Y-Cylinder / ISO Tank / 44L
45	乙硅烷	Si₂H₆	10L
46	磷化氫/氦氣混合氣	0.8%PH₃/He	47L
47	甲硅烷/氦氣混合氣	20%SiH₄/He	47L
48	三氟化氯	CLF₃	40L
49	一氧化氮	NO	44L
50	四氟化硅	SiF₄	44L / SDS
51	六氟化鎢	WF₆	10L
52	三氟化氮	NF₃	47L
53	二氯硅烷	SiH₂CL₂	40L
54	氙氣	Xe	1L
55	六氟乙烷	C₂F₆	44L
56	氦氣/氮氣混合氣	10%He/N₂	47L
57	全氟丙烷	C₃F₈	44L
58	砷化氫	ASH₃	SDS
59	三氟化硼/氫氣混合氣	BF₃/H₂	SDS
60	磷化氫	PH₃	SDS

江蘇安瑞森電子材料有限公司

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